在半導體設備研發與選型工作中,我們經常接觸到堇青石(陶瓷)與微晶玻璃(如Zerodur)這兩種材料,它們同屬超低膨脹、高精密結構材料,核心作用都是抑制熱變形、保障設備的納米級定位精度,但結合我多年的實操經驗,二者在材質、性能、加工、成本及適用場景上有著明
在半導體設備研發與選型工作中,我們經常接觸到堇青石(陶瓷)與微晶玻璃(如Zerodur)這兩種材料,它們同屬超低膨脹、高精密結構材料,核心作用都是抑制熱變形、保障設備的納米級定位精度,但結合我多年的實操經驗,二者在材質、性能、加工、成本及適用場景上有著明