在半導體制造中,氧化鋁對準環(huán)/支撐環(huán)廣泛用于等離子蝕刻、薄膜沉積、晶圓清洗等工藝。其作用主要包括 1. 晶圓對準/定位環(huán) 作用：幫助晶圓在蝕刻、沉積或清洗等過程中保持精準位置； 特征對應：外圍的等距凹槽/突齒可能與腔體或設(shè)備中的其他結(jié)構(gòu)“卡扣配合&rdquo