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氮化硅陶瓷結構件
  • 氮化硅陶瓷結構件
產品名稱

氮化硅陶瓷結構件

加工精度 0.01mm
是否定制 可按圖紙定制
粗糙度 0.01um
材料成分 氮化硅陶瓷
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氮化硅陶瓷

氮化硅陶瓷的一種超硬陶瓷材料,它的硬度比氧化鋁和氧化鋯都高,加工難度極大。目前對氮化硅的加工主要是采取磨削方式,利用高速旋轉的金剛石磨棒產生磨削力,從而達到對陶瓷材料的磨削成型。由于硬度極高,因此加工時的進給以及吃刀量都比較小,加工效率較低,這也是目前氮化硅陶瓷精加工費用較高的原因之一。鈞杰陶瓷針對該材料進行了多項深入研究實驗,總結出一套行之有效的加工方法,很好的改善了加工中常見的一些問題,使得加工成品品質優異。

氮化硅(Si?N?)是一種高性能陶瓷材料,具有高強度、耐高溫、耐磨損、優異的絕緣性和化學穩定性等特點,在半導體制造領域被廣泛應用于關鍵結構件。其應用場景覆蓋了芯片制造的多個核心環節,從晶圓加工到封裝測試。

氮化硅之所以能成為半導體關鍵材料,源于其獨特的物理和化學性能:

耐高溫性:可在 1200°C 以上長期穩定工作,耐受半導體制造中的高溫工藝(如薄膜沉積等)。

力學性能:抗彎強度高達 800-1000 MPa,硬度接近金剛石,抗沖擊和耐磨性能優異,適合高精度機械結構。

電學性能:高絕緣電阻(>10¹? Ω?cm)和低介電常數(ε≈7-8),滿足高頻和高絕緣需求。

化學穩定性:耐強酸、強堿及等離子體腐蝕,不與半導體工藝中的刻蝕氣體(如 Cl?、F?)或清洗液反應。

熱導率可調:通過摻雜或燒結工藝可調控熱導率(10-100 W/(m?K)),兼顧隔熱或散熱需求。

 

 

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